工作原理
真空等离子喷涂又称低压等离子喷涂，是将等离子喷涂工艺在低压保护性气氛中进行操作，从而获得成分不受污染、结合强度高、涂层致密的一种工艺方法。将等离子喷枪、工件及其运转机械置于低真空（２～１２ｋＰａ）有氩气氛保护的密闭室内，在室外控制喷涂过程。通过真空机组和过滤器保持密闭室的真空度。
真空等离子喷涂
Vacuum Plasma Spray
真空等离子喷涂特点
低压等离子喷涂是将等离子喷枪、工件及其运转机械置于低真空或选定的可控气氛的密闭室里，在室外控制喷涂过程,通过真空和过滤系统，保持真空室一定的真空度。当等离子射流进人低真空环境,其形态和特性都将发生变化。低压等离子喷涂主要特点如下：
– 等离子射流束长，粒子受热充分。
– 粒子速度高。
– 金属粒子几乎无氧化。
– 基体预热温度高。
– 可进行自净化表面预处理。
– 喷涂距离对除层性能的影响小。
– 沉积速率高。
– 除层性能优异。
– 操作条件好。
应用范围
– 燃气热障涂层、中温中压阀门DN≤60mm、液压支架液压杆
– 内燃机进气阀、阀座
– 电站锅炉蒸汽阀门、机械密封件、热作磨具
– 半导体行业各类耐腐蚀部件
– 人工关节植入
– 各类绝缘用涂层
– 各类防腐蚀涂层
– 靶材制造等
